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             段文睿     讲师     硕导



             仪器科学与技术学科

基本信息

性别:男    ||  出生年月:1983年8月    ||  政治面貌:党员

现任职称:讲师

最后学历: 研究生    ||  最后学位: 博士     ||  获学位单位:清华大学

联系方式:     ||  邮箱:duanwr@tsinghua.edu.cn    ||  通讯地址:北京海淀区清河小营东路12号

导师信息 

硕导/博导:硕导     ||  批硕/博导时间:2017年10月

在读硕士:0    ||  毕业硕士: 0    ||  在读博士:0    ||  毕业博士:0

所属院系、学科及研究方向

所属学院:仪器科学与光电工程学院

所属学科:仪器科学与技术

研究方向1:IoT无线传输技术

研究方向2:多传感器融合信息处理技术

研究方向3:低功耗器件设计

参加学术团体

中国图学学会数字化设计与制造专业委员会

工作简历

2001.09-2005.07 北京航空航天大学机械学院机械设计系(机械设计专业),工学学士

2005.09-2008.03 北京航空航天大学机械学院航空宇航制造工程系(CAD专业),工学硕士

2010.09-2015.07 清华大学机械学院机械系(机械工程专业),工学博士•

2015.09 2017.09 清华大学精仪系系,博士后

2017.10 – 至今 北京信息科技大学测控系,讲师

承担教学任务

本科课程:精密机械设计课程

承担科研项目情况

横向课题《手术机器人的传感技术研究》200万元、清华未来芯片高精尖中心项目《微流控芯片的细胞三维聚焦技术研究》30元、横向课题《*****无线传输系统设计》24万元。

主要论文目录

1. Analysis of Multi-Discipline Optimization of Etch Process Chamber Based on MADM. Journal of Mechanical Science and Technology, 2014(11). (SCI)

2. 基于多目标决策方法的反应离子刻蚀机约束环优化设计研究 [J]. 真空科学与技术学报, 035(1):89-99. [J]. 真空科学与技术学报

3. 刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究[J]. 真空科学与技术学报, 2015(05):117-125.

4. An annotation and retrieval system of CAD models based on functional semantics. Chinese Journal of Mechanical Engineering (English Edition).

5. 基于二次优化策略的约束环内稀薄气体粘度修正[J]. 真空科学与技术学报, 2015, 035(001):38-43.

晶圆边缘离子平均入射角度数值模拟研究[J]. 真空科学与技术学报, 035(002):231-237.

科研成果

根据IC制造装备设计领域的重大技术需求,以含工艺腔室的刻蚀机为研究载体,开展复杂机械系统及其关键零部件的多场耦合建模与仿真优化设计的理论与应用技术研究。作为主要完成人或技术骨干,参与863、科技部02专项、重大仪器专项3项。发表论文12篇,申请发明专利3项。